硬掩模（关于硬掩模介绍）

大家好,小钱来为大家讲解以上的问题。硬掩模，关于硬掩模介绍这个很多人还不知道,我们一起来看看！

1、硬掩模(Hard Mask)是一种通过CVD(Chemical Vapor Deposition, CVD)生成的无机薄膜材料。

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