大家好,小钱来为大家讲解以上的问题。硅热氧化工艺，关于硅热氧化工艺介绍这个很多人还不知道,我们一起来看看！
1、 硅(Si)与含有氧化物质的气体，例如水汽和氧气在高温下进行化学反应，而在硅片表面产生一层致密的二氧化硅(SiO2)薄膜。
2、这是硅平面技术中一项重要的工艺。
关于硅热氧化工艺到此分享完毕，希望能帮助到您。
大家好,小钱来为大家讲解以上的问题。硅热氧化工艺，关于硅热氧化工艺介绍这个很多人还不知道,我们一起来看看！
1、 硅(Si)与含有氧化物质的气体，例如水汽和氧气在高温下进行化学反应，而在硅片表面产生一层致密的二氧化硅(SiO2)薄膜。
2、这是硅平面技术中一项重要的工艺。
关于硅热氧化工艺到此分享完毕，希望能帮助到您。
