大家好,小钱来为大家讲解以上的问题。硅烷法,关于硅烷法介绍这个很多人还不知道,我们一起来看看!
1、 硅烷法:就是最终用硅烷热解制多晶硅的方法。
2、 硅烷有多种制法,主流的生产工艺有:硅镁合金法工艺(Komatsu 硅化镁法);氯硅烷歧化工艺(Union Carbide 歧化法);金属氢化物工艺(MEMC公司发明的新硅烷法)三种。
关于硅烷法到此分享完毕,希望能帮助到您。
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